激光干涉測量是實現(xiàn)超精密測控和微納尺度測量的有效手段之一。
激光干涉測速儀基于光學(xué)多普勒效應(yīng)，全部采用單模光纖傳輸光信號，利用光學(xué)干涉混頻技術(shù)獲得物體的連續(xù)速度信息，整個系統(tǒng)采用全光纖連接，不僅提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性、減小體積，而且由于采用高性能的單模光纖，使系統(tǒng)的響應(yīng)時間不再受限于光纖色散，可實現(xiàn)50ps量級時間分辨率的速度測量。
具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
激光干涉測速儀有很多應(yīng)用，但本質(zhì)都是測量中學(xué)課本講的“位移”，諸多應(yīng)用都是“位移”的延伸和轉(zhuǎn)化。有兩個主流類型：單頻激光和雙頻激光。
單頻能做的雙頻激光干涉儀都能做，但雙頻能做的單頻不見得能做。由于歷史、技術(shù)和商業(yè)原因，兩種測速儀都有著廣泛應(yīng)用，但在光刻機上，雙頻激光市場更大。
單頻不需要對市場上的氦氖激光器進行改造，直接可用。但雙頻激光用的激光器需要附加技術(shù)使其產(chǎn)生雙頻（兩個頻率）。雙頻激光測量位移的速度不及單頻激光，自從發(fā)明了雙折射-塞曼雙頻激光器，雙頻激光的測量速度也達到每秒幾米，與單頻激光器看齊了。
